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KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列

KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列

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简介
规格参数
功能图解
应用系统
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KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列


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简介


法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理最大直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其最小分辨率可达2μm,最大发散角小于2°

本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。


规格参数


 

项目

UV-KUB 2

UV-KUB 3

最小分辨率

2 μm

2 μm

光源波长

365 nm / 385 nm / 405 nm

365 nm

能量密度

25 mW / cm² ± 10 %

30 mW / cm² ± 10 %

热效应最大升温

< 1°C

< 1°C

曝光时间

1s~18 hours

1s~18 hours

最大存储程序数量

10个

无限制

对准分辨率

/

 < 3 μm

外形尺寸

260 x 260 x 260 mm³

480 x 480 x 480 mm³

重量

8.2 kg

55 kg

显示屏

彩色触摸屏5.7 inches

彩色触摸屏15.6 inches

 

 

功能图解


UV-KUB 2型光刻机,是国际市场上第一款采用UV-LED光源系统的光刻机,其配备了基于LED光源的光学头,使用寿命大大提高,结构小巧,性价比高,非常适合实验室应用。

 

UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机,光源为365nm,其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜,控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能,可以实现预对准,这样,用户再通过操作手柄便能方便的进行最终的对准操作。

 

 

 

 

 

 

 

UV-KUB 2 

 

 

 

UV-KUB 3

 

应用系统


微流控芯片

MEMS器件

 

 

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法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理最大直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其最小分辨率可达2μm,最大发散角小于2°

本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

 

项目

UV-KUB 2

UV-KUB 3

最小分辨率

2 μm

2 μm

光源波长

365 nm / 385 nm / 405 nm

365 nm

能量密度

25 mW / cm² ± 10 %

30 mW / cm² ± 10 %

热效应最大升温

< 1°C

< 1°C

曝光时间

1s~18 hours

1s~18 hours

最大存储程序数量

10个

无限制

对准分辨率

/

 < 3 μm

外形尺寸

260 x 260 x 260 mm³

480 x 480 x 480 mm³

重量

8.2 kg

55 kg

显示屏

彩色触摸屏5.7 inches

彩色触摸屏15.6 inches

 

UV-KUB 2型光刻机,是国际市场上第一款采用UV-LED光源系统的光刻机,其配备了基于LED光源的光学头,使用寿命大大提高,结构小巧,性价比高,非常适合实验室应用。

 

UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机,光源为365nm,其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜,控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能,可以实现预对准,这样,用户再通过操作手柄便能方便的进行最终的对准操作。

 

 

 

 

 

 

 

UV-KUB 2 

 

 

 

UV-KUB 3

 

微流控芯片

MEMS器件

 

暂未实现,敬请期待
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