KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列

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KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列
法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验，其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统，结构紧凑，可以直接放置在实验台上，能够处理可达直径4英寸的晶圆，兼容硬接触（接触式）或者软接触（接近式）工艺，可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要预热，也不需要单独的冷却单元。

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产品描述

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简介

规格参数

功能图解

应用系统

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KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列

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简介

法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验，其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统，结构紧凑，可以直接放置在实验台上，能够处理可达直径4英寸的晶圆，兼容硬接触（接触式）或者软接触（接近式）工艺，可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要预热，也不需要单独的冷却单元。另外，UV-KUB系列先进的设计，保证了光源的准直性和均匀性，其zui小分辨率可达2μm，发散角小于2°

本系统适用于市面上常用的光刻胶，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

规格参数

项目	UV-KUB 2	UV-KUB 3
最小分辨率	2 μm	2 μm
光源波长	365 nm / 385 nm / 405 nm	365 nm
能量密度	25 mW / cm² ± 10 %	30 mW / cm² ± 10 %
热效应最大升温	< 1°C	< 1°C
曝光时间	1s~18 hours	1s~18 hours
最大存储程序数量	10个	无限制
对准分辨率	/	< 3 μm
外形尺寸	260 x 260 x 260 mm³	480 x 480 x 480 mm³
重量	8.2 kg	55 kg
显示屏	彩色触摸屏5.7 inches	彩色触摸屏15.6 inches

功能图解

UV-KUB 2型光刻机，是国际市场上一款采用UV-LED光源系统的光刻机，其配备了基于LED光源的光学头，使用寿命大大提高，结构小巧，性价比高，非常适合实验室应用。

UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机，光源为365nm，其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜，控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能，可以实现预对准，这样，用户再通过操作手柄便能方便的进行对准操作。

UV-KUB 2

UV-KUB 3

应用系统

微流控芯片

MEMS器件

本系统适用于市面上常用的光刻胶，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

项目	UV-KUB 2	UV-KUB 3
最小分辨率	2 μm	2 μm
光源波长	365 nm / 385 nm / 405 nm	365 nm
能量密度	25 mW / cm² ± 10 %	30 mW / cm² ± 10 %
热效应最大升温	< 1°C	< 1°C
曝光时间	1s~18 hours	1s~18 hours
最大存储程序数量	10个	无限制
对准分辨率	/	< 3 μm
外形尺寸	260 x 260 x 260 mm³	480 x 480 x 480 mm³
重量	8.2 kg	55 kg
显示屏	彩色触摸屏5.7 inches	彩色触摸屏15.6 inches