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Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
- SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。 SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
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Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
图片
简介
SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。
SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制,7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用,可进行程控操作,具有优异的性价比。
规格参数
项目 |
参数 |
基板最大直径 |
8英寸 |
转速 |
0~10000RPM可调 |
转速控制精度 |
1RPM |
加速度 |
10-50000RPM/S(空载) |
程序 |
可编程100组100步程序 |
运转最大时长 |
3000S |
时间设置精度 |
0.1S |
显示 |
7”全彩触摸屏 |
机体材料 |
HDPE内腔,SUS外壳,耐溶剂PC透明盖 |
功能图解
SC100D 外形尺寸
应用系统
PDMS芯片制作
MEMS器件加工
SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。
SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,最多可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
SC100D使用工业级伺服马达和高级PLC控制,7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用,可进行程控操作,具有优异的性价比。
项目 |
参数 |
基板最大直径 |
8英寸 |
转速 |
0~10000RPM可调 |
转速控制精度 |
1RPM |
加速度 |
10-50000RPM/S(空载) |
程序 |
可编程100组100步程序 |
运转最大时长 |
3000S |
时间设置精度 |
0.1S |
显示 |
7”全彩触摸屏 |
机体材料 |
HDPE内腔,SUS外壳,耐溶剂PC透明盖 |
SC100D 外形尺寸
PDMS芯片制作
MEMS器件加工