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  • Best tools 匀胶显影一体机 SC100D

  • SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。 SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。
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简介
规格参数
功能图解
应用系统
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Best tools 匀胶显影一体机 SC100D


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简介


SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。

SC100DSC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。

SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制,7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用,可进行程控操作,具有优异的性价比。


规格参数


项目

参数

基板最大直径

8英寸

转速

0~10000RPM可调

转速控制精度

1RPM

加速度

10-50000RPM/S(空载)

程序

可编程100组100步程序

运转最大时长

3000S

时间设置精度

0.1S

显示

7全彩触摸屏

机体材料

HDPE内腔,SUS外壳,耐溶剂PC透明盖

 

 

功能图解


 

 

 SC100D 外形尺寸

应用系统


PDMS芯片制作

MEMS器件加工

SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。

SC100DSC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,最多可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。

SC100D使用工业级伺服马达和高级PLC控制,7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用,可进行程控操作,具有优异的性价比。

 

 

项目

参数

基板最大直径

8英寸

转速

0~10000RPM可调

转速控制精度

1RPM

加速度

10-50000RPM/S(空载)

程序

可编程100组100步程序

运转最大时长

3000S

时间设置精度

0.1S

显示

7全彩触摸屏

机体材料

HDPE内腔,SUS外壳,耐溶剂PC透明盖

 

 

 

 SC100D 外形尺寸

PDMS芯片制作

MEMS器件加工

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    2021-05-11 13:50:45
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