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UL-Coat-1 常压等离子设备
- AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层,涂层均匀性好且快速。
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简介
AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层,涂层均匀性好且快速。
规格参数
基本参数 |
镀膜材料:SiO2/SiOx 镀膜厚度:50-1000nm 均匀性:+/-2% 处理温度:RT-200℃,取决于处理速度 处理速度:0-20m/min,根据实际应用调整 |
枪头 |
1个 |
电缆线 |
3m、5m、7m可选 |
发生器 |
尺寸:520mm×460mm×210mm,重量:20Kg |
控制系统 |
PLC可实现下列功能: 简单便捷的操作界面; 根据处理材料设定不同的处理工艺参数,并且形成工艺菜单; 设置进气停气,加电停电,输入电压等指标; 监测所有的运行指标,保证各项参数在设定范围之内; 设定操作进入密码。 |
电源供应 |
220-230V AC, 50/60Hz, 5A |
工艺气体 |
压缩空气、氮气、其他混合气体,消耗量:50L/min |
气体输入 |
一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC),输入压力:3Bar |
尾气排放 |
50m3/min |
其它性能 |
急停开关;接地保护;CE认证 |
选件 |
定制OEM |
主要应用 |
1,表面改性后进行等离子镀膜,膜粘接能力强; 2,支持其他镀膜研究; 3,修补等其他应用。 |
相关产品
UL-Coat-2,UL-Coat-3
AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层,涂层均匀性好且快速。
基本参数 |
镀膜材料:SiO2/SiOx 镀膜厚度:50-1000nm 均匀性:+/-2% 处理温度:RT-200℃,取决于处理速度 处理速度:0-20m/min,根据实际应用调整 |
枪头 |
1个 |
电缆线 |
3m、5m、7m可选 |
发生器 |
尺寸:520mm×460mm×210mm,重量:20Kg |
控制系统 |
PLC可实现下列功能: 简单便捷的操作界面; 根据处理材料设定不同的处理工艺参数,并且形成工艺菜单; 设置进气停气,加电停电,输入电压等指标; 监测所有的运行指标,保证各项参数在设定范围之内; 设定操作进入密码。 |
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220-230V AC, 50/60Hz, 5A |
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压缩空气、氮气、其他混合气体,消耗量:50L/min |
气体输入 |
一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC),输入压力:3Bar |
尾气排放 |
50m3/min |
其它性能 |
急停开关;接地保护;CE认证 |
选件 |
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1,表面改性后进行等离子镀膜,膜粘接能力强; 2,支持其他镀膜研究; 3,缺陷修补等其他应用。 |
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