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UL-Coat-1 常压等离子设备
- AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层，涂层均匀性好且快速。
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简介
AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层，涂层均匀性好且快速。
规格参数
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基本参数 |
镀膜材料：SiO2/SiOx 镀膜厚度：50-1000nm 均匀性：+/-2% 处理温度：RT-200℃，取决于处理速度 处理速度：0-20m/min，根据实际应用调整 |
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枪头 |
1个 |
|
电缆线 |
3m、5m、7m可选 |
|
发生器 |
尺寸：520mm×460mm×210mm，重量：20Kg |
|
控制系统 |
PLC可实现下列功能： 简单便捷的操作界面； 根据处理材料设定不同的处理工艺参数，并且形成工艺菜单； 设置进气停气，加电停电，输入电压等指标； 监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内； 设定操作进入密码。 |
|
电源供应 |
220-230V AC, 50/60Hz, 5A |
|
工艺气体 |
压缩空气、氮气、其他混合气体，消耗量：50L/min |
|
气体输入 |
一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC），输入压力：3Bar |
|
尾气排放 |
50m3/min |
|
其它性能 |
急停开关；接地保护；CE认证 |
|
选件 |
定制OEM |
|
主要应用 |
1，表面改性后进行等离子镀膜，膜粘接能力强； 2，支持其他镀膜研究； 3，修补等其他应用。 |
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UL-Coat-2，UL-Coat-3
AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层，涂层均匀性好且快速。
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基本参数 |
镀膜材料：SiO2/SiOx 镀膜厚度：50-1000nm 均匀性：+/-2% 处理温度：RT-200℃，取决于处理速度 处理速度：0-20m/min，根据实际应用调整 |
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枪头 |
1个 |
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电缆线 |
3m、5m、7m可选 |
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发生器 |
尺寸：520mm×460mm×210mm，重量：20Kg |
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控制系统 |
PLC可实现下列功能： 简单便捷的操作界面； 根据处理材料设定不同的处理工艺参数，并且形成工艺菜单； 设置进气停气，加电停电，输入电压等指标； 监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内； 设定操作进入密码。 |
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电源供应 |
220-230V AC, 50/60Hz, 5A |
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压缩空气、氮气、其他混合气体，消耗量：50L/min |
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气体输入 |
一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC），输入压力：3Bar |
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尾气排放 |
50m3/min |
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其它性能 |
急停开关；接地保护；CE认证 |
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选件 |
定制OEM |
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1，表面改性后进行等离子镀膜，膜粘接能力强； 2，支持其他镀膜研究； 3，缺陷修补等其他应用。 |
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