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UL-Coat-2 常压等离子设备
- AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层，涂层均匀性好且高效快速。
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简介
AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层，涂层均匀性好且高效快速。
规格参数
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基本参数 |
镀膜材料：SiO2/SiOx
镀膜厚度：50-1000nm
均匀性：+/-2%
处理温度：RT-200℃，取决于处理速度
处理速度：0-20m/min，根据实际应用调整 |
|
枪头 |
2个 |
|
电缆线 |
3m、5m、7m可选 |
|
发生器 |
尺寸：520mm×460mm×210mm，重量：20Kg |
|
控制系统 |
PLC可实现下列功能：
简单便捷的操作界面；
根据处理材料设定不同的处理工艺参数，并且形成工艺菜单；
设置进气停气，加电停电，输入电压等指标；
监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；
设定操作进入密码。 |
|
电源供应 |
220-230V AC, 50/60Hz, 10A |
|
工艺气体 |
压缩空气、氮气、其他混合气体，消耗量：100L/min |
|
气体输入 |
一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC），输入压力：3Bar |
|
尾气排放 |
100m3/min |
|
安全性能 |
急停开关；接地保护；CE安全认证 |
|
选件 |
定制OEM |
|
主要应用 |
1，表面活化改性后进行等离子镀膜，膜粘接能力强；
2，支持其他镀膜研究；
3，缺陷修补等其他应用。 |
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UL-Coat-1，UL-Coat-3
AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2、Tio2等材料的涂层，涂层均匀性好且高效快速。
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基本参数 |
镀膜材料：SiO2/SiOx
镀膜厚度：50-1000nm
均匀性：+/-2%
处理温度：RT-200℃，取决于处理速度
处理速度：0-20m/min，根据实际应用调整 |
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枪头 |
2个 |
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电缆线 |
3m、5m、7m可选 |
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发生器 |
尺寸：520mm×460mm×210mm，重量：20Kg |
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控制系统 |
PLC可实现下列功能：
简单便捷的操作界面；
根据处理材料设定不同的处理工艺参数，并且形成工艺菜单；
设置进气停气，加电停电，输入电压等指标；
监测所有的运行指标，保证各项参数在设定范围之内；
设定操作进入密码。 |
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电源供应 |
220-230V AC, 50/60Hz, 10A |
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工艺气体 |
压缩空气、氮气、其他混合气体，消耗量：100L/min |
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气体输入 |
一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC），输入压力：3Bar |
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尾气排放 |
100m3/min |
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安全性能 |
急停开关；接地保护；CE安全认证 |
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选件 |
定制OEM |
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主要应用 |
1，表面活化改性后进行等离子镀膜，膜粘接能力强；
2，支持其他镀膜研究；
3，缺陷修补等其他应用。 |
