MSP100 薄膜分析仪_北京燕京电子有限公司

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MSP100 薄膜分析仪

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MSP100 薄膜分析仪
MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。基本功能1，针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量2，实现薄膜色度、反射率、透射率的检测产品特点l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库；1 简便、易行的可视化

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产品描述

图片

简介

规格参数

功能图解

应用系统

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简介

　　MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。

基本功能	1，针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量 2，实现薄膜色度、反射率、透射率的检测
产品特点	l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； 1 简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数； 2 实现微小区域薄膜分析研究； 3 快捷、准确、稳定的参数测试； 4 支持多功能配件集成以及定制； 5 支持不同水平的用户控制模式； 6 支持多功能模拟计算等等。
系统配置	型号：MSP100RTM 探测器：2048像素的CCD阵列光源：高功率的深紫外－可见光光源光传送方式：光纤自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，能够在5”×3”的距离上移动，并且有着1μm的分辨率，程序控制物镜：4×，10×，15×(DUV)，50× 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，19”LCD显示器电源：110–240V AC/50-60Hz，3A 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置) 重量：120磅总重保修：一年的整机及零备件保修
l 波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围 2 可根据客户的特殊需求来定制 3 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷 4 可选择的平台尺寸zui多可测量300mm大小尺寸的样品 5 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm 6 各种滤光片可供各种特殊的需求 7 可添加应用于荧光测量的附件 8 可添加用于拉曼应用的附件 9 可添加用于偏光应用的附件

规格参数

　　波长范围：250nm到1000 nm

　　波长分辨率: 1nm

　　光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)

　　基片尺寸：zui多可至20mm厚

　　测量厚度范围: 20Å 到25 μm

　　测量时间：zui快2毫秒

　　精度*：优于0.5%(通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)

　　重复性误差*：小于2 Ǻ

应用系统

　　主要应用于透光薄膜分析类领域：

　　1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)

　　2 半导体制造(PR，Oxide, Nitride…)

　　3 液晶显示(ITO，PR，Cell gap...)

　　4 医学，生物薄膜及材料领域等

　　5 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

　　6 医药，中间设备

　　7 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

　　8 半导体化合物

　　9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜

　　l0 非晶体，纳米材料和结晶硅

　　图片：

　　简介：

基本功能	1，针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量 2，实现薄膜色度、反射率、透射率的检测
产品特点	l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； 1 简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数； 2 实现微小区域薄膜分析研究； 3 快捷、准确、稳定的参数测试； 4 支持多功能配件集成以及定制； 5 支持不同水平的用户控制模式； 6 支持多功能模拟计算等等。
系统配置	型号：MSP100RTM 探测器：2048像素的CCD阵列光源：高功率的深紫外－可见光光源光传送方式：光纤自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，能够在5”×3”的距离上移动，并且有着1μm的分辨率，程序控制物镜：4×，10×，15×(DUV)，50× 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连测量类型：反射/透射光谱、薄膜厚度/反射光谱和特性参数计算机硬件：英特儿酷睿2双核处理器，19”LCD显示器电源：110–240V AC/50-60Hz，3A 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面设置) 重量：120磅总重保修：一年的整机及零备件保修
l 波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范围 2 可根据客户的特殊需求来定制 3 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷 4 可选择的平台尺寸zui多可测量300mm大小尺寸的样品 5 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm 6 各种滤光片可供各种特殊的需求 7 可添加应用于荧光测量的附件 8 可添加用于拉曼应用的附件 9 可添加用于偏光应用的附件