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MSP100 薄膜分析仪
- MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。基本功能1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量2,实现薄膜色度、反射率、透射率的检测产品特点l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库;1 简便、易行的可视化
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图片

简介
MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。
基本功能 |
1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量 |
产品特点 |
l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库; |
系统配置 |
型号:MSP100RTM |
|
规格参数
波长范围:250nm到1000 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸:zui多可至20mm厚
测量厚度范围: 20Å 到25 μm
测量时间:zui快2毫秒
精度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*:小于2 Ǻ
应用系统
主要应用于透光薄膜分析类领域:
1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)
4 医学,生物薄膜及材料领域等
5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等
6 医药,中间设备
7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半导体化合物
9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
l0 非晶体,纳米材料和结晶硅
图片:

简介:
MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。
基本功能 |
1,针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数的测量 |
产品特点 |
l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库; |
系统配置 |
型号:MSP100RTM |
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规格参数:
波长范围:250nm到1000 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸:100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸:zui多可至20mm厚
测量厚度范围: 20Å 到25 μm
测量时间:zui快2毫秒
精度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*:小于2 Ǻ
应用系统:
主要应用于透光薄膜分析类领域:
1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)
4 医学,生物薄膜及材料领域等
5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等
6 医药,中间设备
7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半导体化合物
9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
l0 非晶体,纳米材料和结晶硅