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产品中心
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MSP500 薄膜分析仪
- 易于安装 基于视窗结构的软件，操作简介 先进的光学设计，以确保能发挥出佳的系统性能 基于阵列设计的探测器系统。
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图片
简介
MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。
产品详情
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基本功能 |
1，针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 |
|
产品特点 |
l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； |
|
系统配置 |
型号：MSP500RTMF |
规格参数
波长范围：250nm到1700 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸：zui多可至20mm
测量厚度范围: 20Å 到25 μm
测量时间：zui快2毫秒
精度*：优于0.5%(通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*：小于2 Ǻ
可选配件项
l 波长可扩展到远DUV或者长NIR范围(～2500nm)
2 可根据客户的特殊需求来定制
3 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷
4 可选择的平台尺寸可测量300mm大小尺寸的样品
5 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
6 各种滤光片可供各种特殊的需求
7 可添加应用于荧光测量的附件
8 可添加用于拉曼应用的附件
9 可添加用于偏光应用的附件
应用系统
主要应用于透光薄膜分析类领域：
l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO，PR，Cell gap...)
4 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
5 半导体化合物
6 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
7 非晶体，纳米材料和结晶硅
图片：
简介：
MSP系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了便利。
产品详情：
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基本功能 |
1，针对微小区域测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 |
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产品特点 |
l 强大的数据运算处理功能及材料NK数据库； |
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系统配置 |
型号：MSP500RTMF |
规格参数：
波长范围：250nm到1700 nm
波长分辨率: 1nm
光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 30μm (15x), 8μm (50x)
基片尺寸：zui多可至20mm
测量厚度范围: 20Å 到25 μm
测量时间：zui快2毫秒
精度*：优于0.5%(通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较)
重复性误差*：小于2 Ǻ
可选配件项
l 波长可扩展到远DUV或者长NIR范围(～2500nm)
2 可根据客户的特殊需求来定制
3 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冷
4 可选择的平台尺寸可测量300mm大小尺寸的样品
5 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm
6 各种滤光片可供各种特殊的需求
7 可添加应用于荧光测量的附件
8 可添加用于拉曼应用的附件
9 可添加用于偏光应用的附件
应用系统
主要应用于透光薄膜分析类领域：
l 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR，Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO，PR，Cell gap...)
4 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
5 半导体化合物
6 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
7 非晶体，纳米材料和结晶硅
