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SR500 薄膜分析仪
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简介
SR系列薄膜分析产品来自美国AST公司,其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量,同样对于材料NK参数也可以实现测量,为人们针对薄膜进行分析提供了便利。
产品详情
基本功能 |
1,测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 |
产品特点 |
强大的数据运算处理功能及材料NK数据库; |
系统配置 |
型号:SR500R |
规格参数
波长范围:250nm到1700 nm 光斑尺寸:500μm至5mm 样品尺寸:200mmx200mm或直径为200mm 基板尺寸:可至50毫米厚 测量厚度范围*:2nm~150μm 测量时间:zui快2毫秒 精度*:优于0.5%(通过使用相同的光学常数,让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较) 重复性误差*:小于1 Ǻ |
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可选配件项 |
用于传递和吸收测量的传动夹具(SR500RT) ) |
应用系统
主要应用于透光薄膜分析类领域:
1 玻璃镀膜领域(LowE、太阳能…)
2 半导体制造(PR,Oxide, Nitride…)
3 液晶显示(ITO,PR,Cell gap...)
4 医学,生物薄膜及材料领域等
5 油墨,矿物学,颜料,调色剂等
6 医药,中间设备
7 光学涂层,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8 半导体化合物
9 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
l0 非晶体,nm材料和结晶硅