SR500 薄膜分析仪_北京燕京电子有限公司

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SR500 薄膜分析仪

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SR500 薄膜分析仪
图片：简介：SR系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜进行分析提供了便利。产品详情：基本功能1，测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数2，实现薄膜均匀性检测3，实现反射、投射以及颜色测量产品特点强大的数据运算处理功能及材料NK数据库；简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同

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产品描述

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简介

规格参数

功能图解

应用系统

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简介

SR系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜进行分析提供了便利。

产品详情

基本功能	1，测试单、多层透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系数 2，实现薄膜均匀性检测 3，实现反射、投射以及颜色测量
产品特点	强大的数据运算处理功能及材料NK数据库；简便、易行的可视化测试界面，可根据用户需求设置不同的参数；快捷、准确、稳定的参数测试；支持多功能配件集成以及定制；支持不同水平的用户控制模式；支持多功能模拟计算等等。
系统配置	型号：SR500R 探测器： 2048像素的CCD线阵列光源：高稳定性、长寿命的卤素灯光传送方式：光纤台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量，200mmx200mm的大小软件： TFProbe 2.2版本的软件通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率电脑硬件要求：P3以上、50 MB的以上空间电源：110–240V AC/50-60Hz，1.5A 保修：一年的整机及零备件保修

规格参数

波长范围：250nm到1700 nm 光斑尺寸：500μm至5mm 样品尺寸：200mmx200mm或直径为200mm 基板尺寸：可至50毫米厚测量厚度范围：2nm～150μm 测量时间：zui快2毫秒精度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）重复性误差*：小于1 Ǻ
可选配件项	用于传递和吸收测量的传动夹具（SR500RT) ) zui低可测量直径为5μm大小的微光斑(MSP500) 在多个位置下，多个通道用于同时测量 (SR500xX) 在超过200或300毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM500-200/300）

应用系统

主要应用于透光薄膜分析类领域：
1  玻璃镀膜领域（LowE、太阳能…）
2  半导体制造（PR，Oxide, Nitride…)
3  液晶显示（ITO，PR，Cell gap...）
4  医学，生物薄膜及材料领域等
5  油墨，矿物学，颜料，调色剂等
6  医药，中间设备
7  光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
8  半导体化合物
9  在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
l0 非晶体，nm材料和结晶硅