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UL-Coat-3 常压等离子设备

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简介


 

AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2Tio2等材料的涂层,涂层均匀性好且高效快速。

 

 

规格参数


 

基本参数

镀膜材料:SiO2/SiOx

镀膜厚度:50-1000nm

均匀性:+/-2%

处理温度:RT-200℃,取决于处理速度

处理速度:0-20m/min,根据实际应用调整

枪头

3

电缆线

3m5m7m可选

发生器

尺寸:520mm×460mm×210mm,重量:20Kg

控制系统

PLC可实现下列功能:

简单便捷的操作界面;

根据处理材料设定不同的处理工艺参数,并且形成工艺菜单;

设置进气停气,加电停电,输入电压等指标;

监测所有的运行指标,保证各项参数在设定范围之内;

设定操作进入密码。

电源供应

220-230V AC, 50/60Hz, 15A

工艺气体

压缩空气、氮气、其他混合气体,消耗量:150L/min

气体输入

一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC),输入压力:3Bar

尾气排放

150m3/min

安全性能

急停开关;接地保护;CE安全认证

选件

定制OEM

主要应用

1,表面活化改性后进行等离子镀膜,膜粘接能力强;

2,支持其他镀膜研究;

3,缺陷修补等其他应用。

 

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AcXys常压等离子涂层设备可以在常压条件下实现SiOx/SiO2Tio2等材料的涂层,涂层均匀性好且高效快速。

基本参数

镀膜材料:SiO2/SiOx

镀膜厚度:50-1000nm

均匀性:+/-2%

处理温度:RT-200℃,取决于处理速度

处理速度:0-20m/min,根据实际应用调整

枪头

3

电缆线

3m5m7m可选

发生器

尺寸:520mm×460mm×210mm,重量:20Kg

控制系统

PLC可实现下列功能:

简单便捷的操作界面;

根据处理材料设定不同的处理工艺参数,并且形成工艺菜单;

设置进气停气,加电停电,输入电压等指标;

监测所有的运行指标,保证各项参数在设定范围之内;

设定操作进入密码。

电源供应

220-230V AC, 50/60Hz, 15A

工艺气体

压缩空气、氮气、其他混合气体,消耗量:150L/min

气体输入

一个气体输入端口,含气体流量控制器(MFC),输入压力:3Bar

尾气排放

150m3/min

安全性能

急停开关;接地保护;CE安全认证

选件

定制OEM

主要应用

1,表面活化改性后进行等离子镀膜,膜粘接能力强;

2,支持其他镀膜研究;

3,缺陷修补等其他应用。

 

规格参数:

UL-Coat-1,UL-Coat-2

暂未实现,敬请期待
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