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新一代曝光光刻机UV KUB 3
UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻机,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光学准直系 统,可实现 1um 的光刻精度和小于 2°的发散角。UV KUB 3采用开放式样品盘,可以进行不同模式的曝光 光刻,如软接触或硬接触模式;同时配备了高精密 的位移台,辅以双 CCD 成像系统,可在 5 分钟内实 现 1um 的对位精度。

Dialse 3D 微尺度3D打印机
Dilase 3D是一款桌面式微尺度3D打印设备。该设备采用高精度紫外光固化增材制造技术,将需要打印的三维模型输入软件,通过激光直写技术将光固化材料分层直写到基板表面,通过设定激光光斑大小,可实现5um的打印分辨率。

PDMS芯片打孔台
PDMS微流控芯片打孔器,可以在PDMS芯片上实现快速、方便的打孔。此款打孔器只需对准需要打孔的位置,然后压下打孔针,打孔针便可以保持在垂直方向上,完成在PDMS微流控芯片上的打孔,并且在之后的抬起过程中,从PDMS微流控芯片上取出的PDMS圆柱芯也会自动从打孔针中脱落,从而避免了PDMS残屑可能带来的堵塞问题。如果需要在PDMS芯片上打其他直径的孔,只需从安装柱上拆下打孔器的头部,并将其替换为所需所需直径的打孔器头部即可。

Best tools 匀胶显影一体机 SC100D
SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统,被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板或7英寸方形基板的匀胶及显影。
SC100D在SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩,可配备四路喷淋系统,包括显影液和去离子水等,以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括:喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件。

CorSolutions PDMS微流控芯片打孔器 PDMS Port Creator
CorSolutions PDMS微流控芯片打孔器,可以在PDMS芯片上实现快速、方便的打孔。此款打孔器配备了对准摄像头和显示器,只需通过摄像头对准需要打孔的位置,然后压下打孔针,打孔针便可以保持在垂直方向上,完成在PDMS微流控芯片上的打孔,并且在之后的抬起过程中,从PDMS微流控芯片上取出的PDMS圆柱芯也会自动从打孔针中脱落,从而避免了PDMS残屑可能带来的堵塞问题。如果需要在PDMS芯片上打其他直径的孔,只需从安装柱上拆下打孔器的头部,并将其替换为所需所需直径的打孔器头部即可。

PDMS微流控芯片制作系统 EasyPDMS
PDMS芯片制作一般包含以下所列举工艺:① 清洗;② 匀胶;③ 曝光光刻;④ 显影;⑤ 烤胶;⑥ PDMS成型;⑦ 等离子表面活化处理;⑧ 键合;⑨ 打孔。EasyPDMS微流控芯片制作系统可以提供完成以上各工艺流程的整套系统或单个设备。
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