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实验室扫描面阻测量仪

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简介


Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线监测具有重要意义。

 

规格参数


测量模式:非接触式实时测量

衬底:foils, glass, wafer等

最大扫描尺寸:10 inch / 254 x 254 mm (其他尺寸可定制)

检测间距:2 / 5 / 10 / 25 mm (取决于不同样品厚度和应用)

面阻范围: 0.0001 to 1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

扫描间距:1 / 2 / 5 / 10 mm (其他可定制)

检测速度:

4 inch / 200 x 200 mm约  0.5~ 5 minutes (1 – 10 mm pitch);

8 inch / 200 x 200 mm 约1.5 ~ 15 minutes (1 – 10 mm pitch)。

设备尺寸:23.6 x 9.05 x 31.5 inch / 600 x 230 x 800 mm @ 27 kg

其他选件:各向异性;光透过率。

 

 

功能图解


 

 

 

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     Suragus面阻测试仪来自德国,其通过涡流的原理测量材料面阻值,该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定,对于无损检测、在线监测具有重要意义。

 

测量模式:非接触式实时测量

衬底:foils, glass, wafer等

最大扫描尺寸:10 inch / 254 x 254 mm (其他尺寸可定制)

检测间距:2 / 5 / 10 / 25 mm (取决于不同样品厚度和应用)

面阻范围: 0.0001 to 1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依据面阻而定)

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暂未实现,敬请期待
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