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在线监测面阻测量仪
- 简介：Suragus面阻测试仪来自德国，其通过涡流的原理测量材料面阻值，该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定，对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。
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简介
Suragus面阻测试仪来自德国，其通过涡流的原理测量材料面阻值，该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定，对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。
规格参数
测量模式：非接触式实时测量
衬底：foils, glass, wafer等
检测间距：1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)
传感器数目：1 – 99
面阻范围： 0.0001~1000 Ohm/sq
薄膜厚度：2nm – 2mm（依据面阻而定）
工作环境：真空 / 非真空
工作温度：< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制）
采样率：1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s
配套设备（选配）：硬件触发 / 条形码阅读器
选配功能：导电膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向异性
功能图解
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Suragus面阻测试仪来自德国，其通过涡流的原理测量材料面阻值，该技术是一种非接触式面阻测试技术且测试准确稳定，对于无损检测、在线面阻监测具有重要意义。
测量模式：非接触式实时测量
衬底：foils, glass, wafer等
检测间距：1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)
传感器数目：1 – 99
面阻范围： 0.0001~1000 Ohm/sq
薄膜厚度：2nm – 2mm（依据面阻而定）
工作环境：真空 / 非真空
工作温度：< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制）
采样率：1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s
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