AST 在线膜厚监测系统

 产品特点：

•  高性价比
• 易于安装
• 基于视窗结构的软件，很容易操作
• 先进的光学设计，以确保能发挥出最佳的系统性能
• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量
• 独特的光源设计，保证测量的稳定性
• 可以在线或实时的检测多达5层的薄膜厚度及折射率
• 可以实现多通道或多点
• 系统配备大量的光学常数数据及数据库
• 配置了MSP (Microspectrophotometer) 系统，SRM图形匹配系统
• 能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片
• 与主机通讯采用RS232的接口方式
• 可以自动记录频谱、膜厚结果及图形
• 先进的Global ZR模式能够允许用户在IMD、ILD1、ILD3等图案结构上的大光斑区域测量上获取更多的有用信息

基本参数：

• 波长范围：400nm到1000 nm
• 光斑尺寸：500μm至20mm
• 样品大小：任意
• 基板尺寸：任意
• 测量膜厚范围：20nm〜50μm
• 测量时间：最低2ms
• 精确度*：优于0.5％
• 重复性误差*：小于1 Ǻ

应用领域：               

• 半导体制造（PR，Oxide, Nitride..)
• 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..）
• 太阳能电池、电板工业
• 医学，生物薄膜及材料领域等
• 油墨，矿物学，颜料，调色剂等
• 医药，中间设备
• 光学涂层，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
• 半导体化合物
• 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膜
• 非晶体，纳米材料和结晶硅

产品可选项：             

• 传动模式
• 用于测量低至5μm大小的小区域的微小光斑透镜
• 在多个位置上进行多通道的同时测量
• 电动的X－Y平台
• 波长可扩展到从远DUV到IR的覆盖范围
• 可根据用户的实际需要来订制产品规格